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      半導體金相顯微鏡
      晶圓半導體檢查顯微鏡
      晶圓半導體檢查顯微鏡

      產品型號:MX系列
      發布時間:2018-6-8 16:17:56
      訪問次數:1501 次

      半導體金相顯微鏡-晶圓半導體檢查顯微鏡介紹

      晶圓半導體檢查顯微鏡MX系列各項操作根據人機工程學設計,減輕操作者的使用疲勞。其模塊化的部件設計,可對系統功能進行自由組合。涵蓋明場、暗場、斜照明、偏光、DIC微分干涉等多種觀察功能,可根據實際應用,進行功能選擇。

      寬視場鉸鏈式三目觀察筒

      正像鉸鏈三目觀察筒,所成像的方位與物體實際方向相同,物體移動的方向跟像面移動的方向相同,便于觀察與操作.

      大行程移動平臺設計

      采用6寸平平臺設計,行程158×158mm,可適用于對應尺寸的晶圓或FPD檢測,也可用于小尺寸樣品的陣列檢測。

      高精度物鏡轉換器

      轉換器采用精密軸承設計,轉動手感輕巧舒適,重復定位精度高,物鏡轉換后的同心度也得到較好的控制。

      穩重的機架結構設計

      工業檢測級顯微鏡鏡體,低重心、高剛性、高穩定性金屬機架,保證了系統的抗震能力與成像穩定性。

      其前置低手位粗微調同軸調焦機構,內置100-240V寬電壓變壓器,可適應不同地區的電網電壓。底座內部設計有風循環散熱系統,長時間使用也不會使機架過熱。

      半導體檢查顯微鏡MX6R標準配置參數

      型號

      MX6R

      MX6RT

      可選擇的觀察方法

      明場/暗場/偏振光/DIC

      明場/暗場/偏振光/DIC/透射光

      光學系統

      無限遠色差校正光學系統

      目鏡

      PL10X/22平場高眼點目鏡

      物鏡

      LMPL-BD無限遠長工作距明暗場金相物鏡

      觀察筒

      正像觀察筒,25°鉸鏈式三目,分光比,雙目:三目=100:0或0:100

      轉換器

      5孔內傾式明暗場轉換器,帶DIC插槽

      5孔內傾式明暗場轉換器

      載物臺

      6”三層機械移動平臺,行程158x 158mm,玻璃工作臺,右手位X、Y移動手輪,帶離合器手柄,可快速移動

      6”三層機械移動平臺,反射行程158x 158mm,透射行程:100x100mm,玻璃工作臺,右手位X、Y移動手輪,帶離合器手柄,可快速移動

      顯微鏡鏡體

      粗微調同軸、粗調行程33mm,微調精度0.001mm,,帶粗調機構上限位及松緊調節裝置。內置90-240V寬電壓變壓器,單路電源輸出

      粗微調同軸、粗調行程33mm,微調精度0.001mm,,帶粗調機構上限位及松緊調節裝置。內置90-240V寬電壓變壓器,雙路電源輸出

      反射照明器系統

      帶可變視場光闌與孔徑光闌,均可調中心;帶濾色片插槽與偏光裝置插槽;帶斜照明切換拉桿,12V100W鹵素燈,光強連續可調

      透射照明系統

      /

      單顆大功率5W LED,白色,光強連續可調。N..A.0.5聚光鏡,帶可變孔徑光闌

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